半導體金相顯微鏡的校準
半導體金相顯微鏡是鑒定成品材料質量*的儀器。半導體金相顯微鏡主要通過材料顯微組織的定性，定量晶界組織等表征識別來對材料工藝流程，物理特性，失效成因等綜合因素做出科學的判斷，并對金屬細微結構以及非金屬夾雜物的分布形貌等進行科學研究。
伴隨著經濟進入新常態，國內材料行業必定在供給側改革的大趨勢下迎來行業的春天。從zui傳統的黑色鋼鐵冶煉到zui熱門的納米材料制造無不蘊藏著巨大的商機。那么成品材料的質量鑒定就成為了行業突破的首要問題。其中zui重要的一項鑒定檢查程序就是通過一臺專業的半導體金相顯微鏡對材料樣品進行金相檢驗。
1、物鏡場曲
將一半導體金相顯微鏡物鏡安裝好，將0.01mm標準測微尺放在工作臺上并壓緊；旋轉調焦旋鈕，將焦點調整在測微尺的中間，視場中心成像清晰，此時將千分表測頭與工作臺表面相接觸并對好表的零位；再次旋轉半導體金相顯微鏡調焦旋轉，把焦點調整到測微尺的邊緣，使視場邊緣成像清晰。半導體金相顯微鏡觀察千分表，其zui大偏移量即為該物鏡的場曲誤差，其余物鏡以此類推進行校準。
2、物鏡放大倍數的正確性
半導體金相顯微鏡裝上10X標準目鏡和被檢物鏡，將0.01mm標準沒微尺放在工作臺上并壓緊。半導體金相顯微鏡觀察時測微尺應與目鏡中的分劃板相符合，其偏移量測是放大倍數的誤差。其余物鏡以此類推進行校校準，其誤差不大于5%
3、目鏡分劃板的準確度
將帶分劃板目鏡的鏡頭旋下，把分劃板放置在萬工顯工作臺上并調好焦距；調整半導體金相顯微鏡工作臺，使分劃板的水平線與萬工顯縱向導軌行程平行并對好零位，按每20格測量一次，直到第100格，其誤差不大于5um
4、物鏡成像清晰范圍
用被檢物鏡及10X目鏡對測微尺或金相試樣進行調焦，使成像清晰。當視場中心像zui清晰時，半導體金相顯微鏡測得視場內的成像清晰范圍的誤差不低于60%
5、各物鏡相對于目鏡的格值
裝上被檢半導體金相顯微鏡的10X目鏡，將0.01mm標準測微尺（推薦使用隨機0.01mm測微尺）放在工作臺上并壓緊；調整測微尺標尺軸線與半導體金相顯微鏡目鏡分劃板標尺軸線平行，并讀出目鏡分劃板i條刻線里包含測微尺n條刻線數，該物鏡相對于目鏡的格值為：C=n/i*0.01mm.其余物鏡的格值以此類推進行校準。
